삼성전자가 2일 반도체 소재 부품 장비주 (소부장 관련주) 4개 회사에 유상증자로 지분투자를 발표했다. 대상 기업은 케이씨텍 207억원, 미코 자회사인 미코세라믹스 216억원, 엘오티베큠 189억원, 뉴파워프라즈마 127억원 등이다. 미코세라믹스는 미코 100% 비상장 자회사이고, 나머지는 상장사이다. 케이씨텍 반도체 웨이퍼 표면 평탄화하는 화학처리 연마 CMP 업체 미코세라믹스 (미코) 반도체 웨이퍼를 안정적으로 고온 가열하는 세라믹 히터 생산 엘오티베큠 반도체 장비 속 이물질을 빨아들이는 건식 진공 펌프 국산화 뉴파워프라즈마 반도체 장비 핵심 부품인 고주파 제너레이터 개발 이 뿐 아니라 삼성전자는 2020년 4월 원익IPS, 에스에프에이, 2020년 7월에 에스앤에스텍, 와이아이케이에도 투자를 진행했..