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SK그룹의 반도체용 특수가스 개발을 담당하는 SK머티리얼즈 에서 일본 반도체 소재 수출 규제 품목 중 하나인 에칭가스(불화수소) 를 자체 생산하기로 했다. 연말까지 고순도 불화수소 양산을 위한 샘플 생산을 목표로 하고 있다.
SK머티리얼즈는 삼불화질소 NF3 글로벌 생산량 1위 업체이다. 삼불화질소는 반도체와 디스플레이, 태양전지 등에 사용되고 있고, 불화수소를 기본적으로 다뤄본 업체라 기술 접근성이 높다.
에칭가스는 반도체 식각 공정과 실리콘 웨이퍼 이물질 제거를 위한 세정 공정에 사용되는데 SK하이닉스 의 안정적인 반도체 생산을 위해 아예 외부 요인을 줄이려는 것으로 보여진다.
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